MEMS传感器产业化项目是国高(淄博)微系统科技有限公司、淄博高新技术产业开发区MEMS研究院等单位共同建立的国内一流的MEMS代工线。MEMS代工线是国内首家专业化的中试代工平台，也是山东省第一家批量生产微型传感器的专业化平台。MEMS技术是特征尺度跨越微米和纳米两个邻接微小领域的高新技术，也是信息化、智能化的关键核心技术，MEMS传感器技术具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等诸多优势，是当今世界制造业的趋势和热点。

 

据MEMS传感器产业化项目负责人介绍，国高(淄博)微系统公司拥有先进的代工模式，从自主知识产权、生产控制等方面全方位入手，以智能制造设备应用、装置自动化方案为基础，在实现各项生产经营管理工作信息化的同时，有效打通了企业智能制造的数据通道。

 

MEMS孵化器已建成10万平方米，形成稳定的45个单项工艺和17个产品工艺流程。国家高新区MEMS研究院成立了国内MEMS领域15名顶尖专家组成的专家委员会，负责高精度陀螺仪、MEMS继电器和加速度计等器件研发，引领平台的发展方向及工艺评审。去年9月份，清华大学、同方股份、淄博高新区三方达成战略合作协议，研究院建设、平台发展、基金设立、项目落地、产业园区建设等协议内容的各项工作正在快速推进。高新区将在现有加工设备条件和环境下，开展MEMS制造技术封装与装配过程中关键技术的研究和开发，真正解决其关键技术形成核心发明专利，为进一步的产业化奠定良好的知识产权基础。